★基于电离电荷的采样技术 HZK系列真空度测试仪采用电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司*了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。 ★ 漏电电流的处理 对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。 ★ 判别*漏气的真空灭弧室 在HZK-VB型机中,通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否*漏气。 ★ PC机控制测量、计算漏率、形成测量数据库 这部分是选配件。通过界面进行管型、电流或真空度、所用数据库的整定,由PC机控制整个测量过程、显示测量结果并将数据存入整定时的数据库。同一只真空灭弧室在两次测量后,可通过界面控制进行漏率计算。 ★ 内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线 真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同,当内部真空度和外加激励电源一定时,其放电电荷量是不同的,并且有相当的差异。为准确测量,对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作,取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据,通过数学处理,将其特征参数送入HZK系列产品。因此,HW系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中*的。 ★完善的输入保护电路 当真空灭弧室的真空度非常低时,测量时真空灭弧室会被高压击穿,瞬间的高压直接加至信号输入端的采样电路上,使其承受十分强的电冲击。HW的信号输入端的采样电路增加了完备的保护电路,即使仪器由于输入端的高压冲击而发生暂时工作不正常时(重新开机即可),也不会造成电路部分的损坏。 技术参数 ●测量范围:1×10-5 ~1×10-1Pa ●测量误差:1×10-4~1×10-1 Pa中误差<10% ●测量分辨率:10-5Pa ●漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿。 ●允许环温:0℃~55℃ ●空气湿度:<85%RH ●电源:AC220±l0% |